对于Coherent冷却循环器的故障，可以参考以下通用的故障排除方法：

设备无法启动或运行缓慢

检查电源是否接通，电源线路是否松脱，以及电源相序是否接错。

如果电机运行方向不对或电机缺相导致转速很慢，需调整电机方向并紧固电机接线。

运行时有杂音或震动

检查管路支撑是否稳固，防止震动。

检查液体是否混有气体，如果有，需提高吸入压力排气；如果产生汽蚀，需降低真空度。

检查轴承是否损坏，如果损坏，需及时更换。

无温度显示或显示异常

检查线路板连接线是否脱落，传感器是否脱落，线路板上是否被溅水。如有问题，需插好连接线，晾干线路板后开机。

检查系统是否有泄漏或脏堵现象，需请专业人员修理。

整机无电

检查漏电保护器是否启动，需复位保护装置。

检查保险管是否熔断，需更换保险管。

检查电源相序是否接错，需调整两根火线的位置。

不制冷或制冷速度慢

检查系统是否有泄漏，需请专业人员进行维修。

如果内部有结冰现象，需停机升温解冻。

其他注意事项

在使用前，槽内应加入液体介质，如纯水、酒精或防冻液，并确保介质液面符合要求。